Mokrá stolice zahrnuje velké množství zařízení/aplikací, kde se mohou používat chemické látky, jako jsou kyseliny/ zásady a rozpouštědla. Příkladem mokrého pracoviště jsou nádrže s chemikáliemi pro leptání destiček. Procesy na předním konci linky (FEOL) a na zadním konci linky (BEOL) jsou typické tím, že se zde používají nástroje pro mokré procesy. Typickými aplikacemi jsou zde leptání, čištění a odizolování. Zařízení pro mokré pracoviště musí být rovněž navržena s ohledem na požadavky na čisté prostory. Další podrobnosti naleznete na adrese: Tovární zařízení,čisté prostory a ESD.
Každá čistá místnost je jiná. Výrobci musí zohlednit mnoho faktorů, od třídy čistého prostoru přes rozsah použití až po specifické požadavky zákazníků. Konstrukční prvky, jako jsou stěny, stropy a vzduchové sprchy, ventilace a světelná zařízení a vybavení, to vše je třeba podrobně naplánovat. Důležitou roli zde hrají správné materiály.
Výkonnost a životnost plastů pro použití v polovodičovém průmyslu ovlivňuje řada faktorů. Tato kritéria je třeba vzít v úvahu pro správný výběr materiálů. Příklady:
Rádi vám poradíme s výběrem vhodných materiálů pro vaši konkrétní aplikaci. Stačí použít náš kontaktní formulář v dolní části stránky.