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Wet Bench and Cleanroom
Materiali e soluzioni per banchi umidi e camere bianche

Soluzioni per banchi umidi e camere bianche

Il banco a umido comprende un gran numero di dispositivi/applicazioni in cui possono essere utilizzate sostanze chimiche come acidi/basi e solventi. Un esempio di banco a umido sono le vasche di immersione chimica per l'incisione dei wafer. I processi di front end of the line (FEOL) e back end of the line (BEOL) sono in genere quelli in cui vengono utilizzati strumenti di processo a umido. Le applicazioni tipiche sono etch, clean e strip. I dispositivi da banco a umido devono essere progettati tenendo conto dei requisiti della camera bianca. Per maggiori dettagli, consultare: Attrezzature di fabbrica,camera bianca e ESD.

Proprietà del materiale

I materiali plastici tipicamente utilizzati sono

  • PEEK (resina FM4910 utilizzata)
    eccellente resistenza chimica e basso degassamento per componenti come viti e dispositivi di fissaggio
  • PET
    buona resistenza chimica, forza, rigidità e tenacità
  • PTFE
    praticamente non reattivo con tutte le sostanze chimiche
  • ECTFE (resina FM4910 utilizzata)
    tipicamente utilizzato in caso di esposizione a sostanze chimiche aggressive
  • PVDF FM4910
    tipicamente utilizzato in presenza di prodotti chimici molto aggressivi
  • PP, PPs
    buona resistenza chimica e agli acidi, UL94-V2, bianco brillante e doppia ricottura
  • PVC FM4910
    materiale ignifugo conforme agli standard reciproci di fabbrica, tipicamente utilizzato per i rivestimenti

Materiali Röchling per il banco a umido

Plastica per camere bianche sicure e di alta qualità

Ogni camera bianca è diversa. I produttori devono considerare molti fattori, dalla classe della camera bianca alla gamma di utilizzi, fino alle esigenze specifiche dei clienti. Gli elementi strutturali come le pareti, i soffitti e le docce d'aria, la ventilazione, gli impianti di illuminazione e l'arredamento devono essere pianificati in dettaglio. I materiali giusti svolgono un ruolo importante.

Organizzare la consulenza tecnica

Le prestazioni e la durata delle materie plastiche da utilizzare nell'industria dei semiconduttori sono influenzate da una serie di fattori. Questi criteri devono essere presi in considerazione per fare la scelta giusta dei materiali. Esempi:

Saremo lieti di fornirvi la nostra consulenza per la scelta dei materiali più adatti alla vostra particolare applicazione. Utilizzate il nostro modulo di contatto in fondo alla pagina.

 
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