Le banc humide englobe un grand nombre de dispositifs/applications où des produits chimiques tels que des acides/bases et des solvants peuvent être utilisés. Les cuves d'immersion de produits chimiques pour la gravure des plaquettes sont un exemple de banc humide. Les procédés en début de ligne (FEOL) et en fin de ligne (BEOL) sont typiquement ceux pour lesquels des outils de traitement par voie humide sont utilisés. Les applications typiques sont la gravure, le nettoyage et le décapage. Les dispositifs à banc humide doivent également être conçus en tenant compte des exigences des salles blanches. Pour plus de détails, voir Équipement d'usine,salle blanche et ESD.
Chaque salle blanche est différente. Les fabricants doivent tenir compte de nombreux facteurs, depuis la classe de la salle blanche jusqu'aux exigences spécifiques du client, en passant par la gamme d'utilisations. Les éléments structurels tels que les murs, les plafonds et les douches d'air, la ventilation et l'éclairage, ainsi que l'ameublement, doivent tous être planifiés en détail. Les matériaux appropriés jouent un rôle important à cet égard.
Les performances et la durée de vie des matières plastiques utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs sont influencées par une série de facteurs. Ces critères doivent être pris en compte afin de faire le bon choix de matériaux. Exemples :
Nous nous ferons un plaisir de vous conseiller sur le choix des matériaux adaptés à votre application particulière. Il vous suffit d'utiliser notre formulaire de contact en bas de page.