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Lösungen für Nassarbeitsplätze und Reinräume
Der Nassarbeitsplatz umfasst eine Vielzahl von Geräten/Anwendungen, bei denen Chemikalien wie Säuren/Basen und Lösungsmittel verwendet werden können. Ein Beispiel für einen Nassarbeitsplatz sind chemische Tauchbecken für das Ätzen von Wafern. Bei Front-End-of-the-Line- (FEOL) und Back-End-of-the-Line- (BEOL) Prozessen werden in der Regel Nassprozesswerkzeuge eingesetzt. Die typischen Anwendungen sind hier Ätzen, Reinigen und Abtragen. Geräte für den Nassarbeitsplatz müssen auch unter Berücksichtigung von Reinraumanforderungen konzipiert werden. Weitere Einzelheiten finden Sie unter: Werksausrüstung, Reinraum und ESD.
- PEEK (FM4910 Type verwendet)
ausgezeichnete chemische Beständigkeit und geringe Ausgasung für Komponenten wie Schrauben und Befestigungselemente - PET
gute chemische Beständigkeit, Festigkeit, Steifigkeit und Zähigkeit - PTFE
praktisch nicht reaktiv mit allen Chemikalien - ECTFE (FM4910 Type verwendet)
wird in der Regel dort verwendet, wo sehr aggressive Chemikalien eingesetzt werden - PVDF FM4910
wird typischerweise dort verwendet, wo es mit aggressiven Chemikalien in Berührung kommt - PP, PPs
gute Chemikalien- und Säurebeständigkeit, UL94-V2, hellweiß und doppelt getempert - PVC FM4910
flammwiedriges Material, das die Werksnormen erfüllt, typischerweise für Verkleidungen verwendet
Röchling Materialien für Nassarbeitsplätze
PEEKSustaPEEK natur
PVDFSustaPVDF natur
PVC-UTrovidur® EC-FR
Kunststoffe für sichere und hochwertige Reinräume
Jeder Reinraum ist anders. Die Hersteller müssen viele Faktoren berücksichtigen, von der Reinraumklasse über das Nutzungsspektrum bis hin zu spezifischen Kundenanforderungen. Bauliche Elemente wie Wände, Decken und Luftschleusen, Lüftungs- und Beleuchtungsanlagen sowie die Einrichtung müssen detailliert geplant werden. Dabei spielen die richtigen Materialien eine wichtige Rolle.
Technische Beratung vereinbaren
Die Leistung und die Lebensdauer von Kunststoffen für die Semiconductor-Industrie werden von einer Vielzahl von Faktoren beeinflusst. Diese Kriterien müssen berücksichtigt werden, um die richtige Wahl der Materialien zu treffen. Beispiele hierfür sind:
- Antistatische oder leitfähige Eigenschaften
- Einsatztemperatur
- Kontakt mit Chemikalien
- Anforderung an die Produktgestaltung
- Dimensionen und Toleranzen
- Flammhemmende Eigenschaften
Wir helfen Ihnen gerne bei der Auswahl geeigneter Materialien für Ihren Anwendungsfall. Benutzen Sie einfach unser Kontaktformular am Fuß der Seite.
