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Wafer handling
Materialien und Lösungen für das Wafer Handling

Materialien und Lösungen für Wafer Handling

Eine typische Halbleiterfabrik (fab) umfasst Hunderte von Maschinen, die eine Vielzahl von Prozessen für die Waferproduktion durchführen. Zu den Prozessen gehören Abscheidung, Materialentfernung, Strukturierung, Änderung der elektrischen Eigenschaften und mehr.  Ein gemeinsames Element all dieser Maschinen ist der Bedarf an Werkzeugen für das Handling der Wafer. Zu diesen Werkzeugen gehören Waferpicks/-zangen, Kassetten, FOUPs, Greifereffektoren und automatische Waferhandler oder Roboter.

 

Materialeigenschaften für das Handling von Wafern:

 

Typisch verwendete Kunststoffe sind

  • PEEK verstärkt
    hervorragende Ermüdungsfestigkeitund chemische Beständigkeit
  • PEI
    hohe Festigkeit und Steifigkeit bei guter chemischer Beständigkeit
  • PVDF
    korrosions-, säure- und laugenbeständig
  • Polyimid
    ausgezeichnete Hochtemperatureigenschaften
     

Röchling-Materialien für Wafer-Handling

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Die Leistung und die Lebensdauer von Kunststoffen für die Semiconductor-Industrie werden von einer Vielzahl von Faktoren beeinflusst. Diese Kriterien müssen berücksichtigt werden, um die richtige Wahl der Materialien zu treffen. Beispiele hierfür sind:

 

Wir helfen Ihnen gerne bei der Auswahl geeigneter Materialien für Ihren Anwendungsfall. Benutzen Sie einfach unser Kontaktformular am Fuß der Seite.

 
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