Los bancos húmedos abarcan un gran número de dispositivos/aplicaciones en los que pueden utilizarse productos químicos como ácidos/bases y disolventes. Un ejemplo de banco húmedo son los tanques de inmersión química para el grabado de obleas. Los procesos de la parte delantera de la línea (FEOL) y la parte trasera de la línea (BEOL) son los que suelen utilizar herramientas de proceso húmedo. Las aplicaciones típicas son el grabado, la limpieza y el decapado. Los dispositivos de banco húmedo también deben diseñarse teniendo en cuenta los requisitos de las salas blancas. Para más información, consulte: Equipos de fábrica ,sala blanca y ESD.
Cada sala blanca es diferente. Los fabricantes deben tener en cuenta muchos factores, desde la clase de sala blanca hasta los requisitos específicos del cliente, pasando por la gama de usos. Los elementos estructurales, como paredes, techos y duchas de aire, la ventilación y la iluminación, así como el mobiliario, deben planificarse al detalle. Los materiales adecuados desempeñan un papel importante.
El rendimiento y la vida útil de los plásticos que se utilizan en la industria de los semiconductores se ven influidos por diversos factores. Es necesario tener en cuenta estos criterios para elegir correctamente los materiales. Ejemplos:
Estaremos encantados de asesorarle en la selección de los materiales adecuados para su aplicación concreta. Utilice nuestro formulario de contacto al final de la página.